Temperaturregelung eines Gepumpten Gasstromes

EP3655651 Art A1 27. Mai 2020

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3655651
Aktenzeichen
EP18709738
Anmeldetag
28. Februar 2018
Veröffentlichung
27. Mai 2020
Rechtsraum
EP
IPC
F04B39/06F04C29/04F04B53/08F04C15/00F04D29/58
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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