Wärmebehandlungsanlage für eine Vakuumkammer, Abscheidevorrichtung zur Abscheidung von Material auf einem Flexiblen Substrat, Verfahren zur Wärmebehandlung eines Flexiblen Substrats in einer Vakuumkammer und Verfahren zur Verarbeitung eines Flexiblen Substrats

EP3655719 Art A1 27. Mai 2020

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3655719
Aktenzeichen: EP17748687
Anmeldetag: 21. Juli 2017
Veröffentlichung: 27. Mai 2020
Rechtsraum: EP
IPC: F28F5/02C23C14/56C23C16/455C23C16/54

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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