Kathodenanordnung mit einem Doppelpositionmagnetron und Zentral Gespeistem Kühlmittel

EP3655986 Art B1 3. Mai 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3655986
Aktenzeichen: EP18834519
Anmeldetag: 16. Juli 2018
Veröffentlichung: 3. Mai 2023
Erteilung: 3. Mai 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/34C23C14/34C23C14/35

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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