Probe zur Partikelmessung und Verfahren zur Partikelmessung

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3657152

Aktenzeichen

EP18208262

Anmeldetag

26. November 2018

Veröffentlichung

4. Oktober 2023

Erteilung

4. Oktober 2023

Rechtsraum

EP

IPC

G01N1/22G01N15/06G01N15/00

Abstract

Eine Probe (1) zur Partikelmessung weist ein Gehäuse (2) auf, das eine Ober- (3) und eine Unterseite (4) aufweist, zwischen denen sich zumindest eine durchgehende Öffnung (5) erstreckt, wobei in zumindest einer Öffnung (5) zumindest ein Glassubstrat (6, 22) mit Markierungen (17) aufgenommen ist.Ein Behälter (4) für eine Probe zur Partikelmessung weist ein Unterteil (24) und eine Abdeckung (25) auf, die dicht verbindbar sind und dazwischen einen Hohlraum zur Aufnahme der Probe (1) definieren.Ein Verfahren zur Partikelmessung weist folgende Schritte auf:Anbringen einer Probe, insbesondere einer Probe gemäß einem der Ansprüche 1 bis 11 an einem Ort, an dem die partikulare Kontamination gemessen werden soll;Sammeln von Partikeln an einem transparenten Substrat der Probe für eine bestimmte Zeitdauer;Entfernen der Probe von dem Ort;Platzieren der Probe in einem Durchlicht-Mikroskop;Fokussieren des Mikroskops auf die Oberseite (7) des Substrats mittels Markierungen an dem Substrat;Erfassen der partikularen Kontamination.

Anmelder

Firmen

OHB System AG
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete