Verfahren zum Polieren eines Substrats und Polierzusammensetzungssatz

EP3657533 Art A1 27. Mai 2020

Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3657533
Aktenzeichen: EP18834922
Anmeldetag: 18. Juli 2018
Veröffentlichung: 27. Mai 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/304B24B37/00C09G1/02C09K3/14H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujimi Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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