Mems Spiegelanordnung und Verfahren zur Herstellung einer Mems Spiegelanordnung

EP3658974 Art B1 19. Oktober 2022

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3658974
Aktenzeichen
EP18750365
Anmeldetag
25. Juli 2018
Veröffentlichung
19. Oktober 2022
Erteilung
19. Oktober 2022
Rechtsraum
EP
IPC
G02B26/08B81B7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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