Verfahren zur Herstellung eines Fotomaskenrohlings

EP3660587 Art B1 30. Juni 2021

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3660587
Aktenzeichen: EP19204564
Anmeldetag: 1. September 2015
Veröffentlichung: 30. Juni 2021
Erteilung: 30. Juni 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/00G03F1/50

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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