Vorrichtung und Verfahren zur Temperaturregelung

EP3660622 Art B1 23. Juni 2021

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3660622
Aktenzeichen: EP19211808
Anmeldetag: 27. November 2019
Veröffentlichung: 23. Juni 2021
Erteilung: 23. Juni 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G05D23/19H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik

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