Verfahren zur Herstellung von Dielektrischen Mikro-Spacern auf Verschiedenen Substraten

EP3660884 Art A1 3. Juni 2020

Anmelder: Ionfly Vacuum and Plasma Technology S.R.L., Consiglio Nazionale Delle Ricerche 🇮🇹

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3660884
Aktenzeichen: EP18209581
Anmeldetag: 30. November 2018
Veröffentlichung: 3. Juni 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01J45/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Ionfly Vacuum and Plasma Technology S.R.L.
Consiglio Nazionale Delle Ricerche
Land: 🇮🇹 Italien

🇮🇹 Consiglio Nazionale Delle Ricerche

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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