Plasmaätzverfahren unter Verwendung eines Faraday-Käfigs

EP3660886 Art B1 8. Juni 2022

Anmelder: LG Chem, Ltd. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3660886
Aktenzeichen
EP18867496
Anmeldetag
19. Oktober 2018
Veröffentlichung
8. Juni 2022
Erteilung
8. Juni 2022
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3065H01L21/3213H01J37/32G02B5/18
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
LG Chem, Ltd.
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 LG Chem

Südkoreanisches Chemieunternehmen, das Batteriematerialien, Kunststoffe, petrochemische Produkte und pharmazeutische Wirkstoffe herstellt.

8.764 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen