Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements

EP3660891 Art B1 7. Juni 2023

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3660891
Aktenzeichen: EP18208435
Anmeldetag: 27. November 2018
Veröffentlichung: 7. Juni 2023
Erteilung: 7. Juni 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/822H01L21/84H01L29/423H01L29/786H01L29/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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