Flüssige Zusammensetzung zur Verminderung der Schädigung von Kobalt, Aluminiumoxid, Isolierender Zwischenschicht und Siliciumnitrid sowie Waschverfahren unter Verwendung davon

EP3664125 Art B1 29. November 2023

Anmelder: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3664125
Aktenzeichen: EP18841579
Anmeldetag: 24. Juli 2018
Veröffentlichung: 29. November 2023
Erteilung: 29. November 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02C11D7/08C11D7/32C11D7/50C11D17/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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