Verpackungseinheit für Substrate

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3664128

Aktenzeichen

EP18210737

Anmeldetag

6. Dezember 2018

Veröffentlichung

31. März 2021

Erteilung

31. März 2021

Rechtsraum

EP

IPC

H01L21/673B65D85/30

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Verpackungseinheit für Substrate, einen Verpackungsstapel mit solchen Verpackungseinheiten und ein Verfahren zur Verpackung von Substraten. Die Verpackungseinheit für Substrate umfasst ein erstes Substrat, einen Abstandshalter und ein zweites Substrat. Der Abstandshalter ist auf das erste Substrat aufgelegt und das zweite Substrat ist auf den Abstandshalter aufgelegt. Ein Metalldepot ist jeweils auf eine Oberfläche des ersten Substrats und auf eine Oberfläche des zweiten Substrats aufgebracht und auf den beiden Metalldepots ist je ein Klebepunkt angeordnet. Der Abstandshalter ist so auf das erste Substrat aufgelegt, dass der Abstandshalter das erste Substrat nur außerhalb des Klebepunkts berührt.

Anmelder

Firma

Heraeus Deutschland GmbH & Co. KG

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete