Verpackungseinheit für ein Substrat

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3664130

Aktenzeichen

EP18210739

Anmeldetag

6. Dezember 2018

Veröffentlichung

2. Februar 2022

Erteilung

2. Februar 2022

Rechtsraum

EP

IPC

H01L21/673B65D85/30B65D81/127B65D1/36B65D81/02B65D21/02// B65D81/26

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Verpackungseinheit für ein Substrat, einen Verpackungsstapel mit solchen Verpackungseinheiten und ein Verfahren zur Verpackung eines Substrats. Die Verpackungseinheit für ein Substrat umfasst eine Schale, ein Substrat und einen Deckel. Das Substrat ist in die Schale eingelegt. Auf eine Oberfläche des Substrats ist ein Metalldepot aufgebracht und auf dem Metalldepot ist ein Klebepunkt angeordnet. Der Deckel ist auf die Schale aufgesetzt und weist mindestens einen Vorsprung auf, der das Substrat außerhalb des Klebepunkts berührt und das Substrat in einer Richtung senkrecht zur Oberfläche des Substrats fixiert.

Anmelder

Firma

Heraeus Deutschland GmbH & Co. KG

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete