Verfahren zur Herstellung von Bis(tert-Butylimido)bis(dialkylamido)wolfram-Verbindungen, Bis(tert-Butylimido)bis(dialkylamido)wolfram-Verbindungen, Verwendung einer Bis(tert-Butylimido)bis(dialkylamido)wolfram-Verbindung und Substrat

EP3666783 Art A1 17. Juni 2020

Anmelder: UMICORE AG & CO. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3666783
Aktenzeichen
EP18212064
Anmeldetag
12. Dezember 2018
Veröffentlichung
17. Juni 2020
Rechtsraum
EP
IPC
C07F11/00C23C16/34H01L21/768
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
UMICORE AG & CO. KG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Umicore

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