Pumpe und Verfahren zum Pumpen eines Gases

EP3669080 Art B1 6. Juli 2022

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3669080
Aktenzeichen
EP18758713
Anmeldetag
14. August 2018
Veröffentlichung
6. Juli 2022
Erteilung
6. Juli 2022
Rechtsraum
EP
IPC
F04C19/00F04C18/00F04F5/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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