Lichtempfindliche Harzzusammensetzung, Lichtempfindlicher Trockenfilm und Mustererzeugungsverfahren

EP3671345 Art B1 2. Februar 2022

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3671345
Aktenzeichen
EP19215181
Anmeldetag
11. Dezember 2019
Veröffentlichung
2. Februar 2022
Erteilung
2. Februar 2022
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/075G03F7/038C08G77/60C08L83/04C09D183/16
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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