Einspritzanordnung für Epitaktische Abscheidungsverfahren

EP3673505 Art A1 1. Juli 2020

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3673505
Aktenzeichen: EP18848741
Anmeldetag: 10. Juli 2018
Veröffentlichung: 1. Juli 2020
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/24C23C16/455C23C16/458C30B25/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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