Vakuumverarbeitungssystem und Verfahren dafür

EP3674440 Art A1 1. Juli 2020

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3674440
Aktenzeichen: EP19218221
Anmeldetag: 12. Februar 2016
Veröffentlichung: 1. Juli 2020
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/54C23C14/56C23C16/34C23C16/40C23C16/455C23C16/511H01J37/32H01L21/677H05H1/00H05H1/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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