Substratverarbeitungssystem und Substratverarbeitungsverfahren und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung

EP3680717 Art A1 15. Juli 2020

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3680717
Aktenzeichen: EP19212547
Anmeldetag: 23. Februar 2016
Veröffentlichung: 15. Juli 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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