Vakuumpumpe und Motorsteuervorrichtung

EP3681032 Art B1 21. Februar 2024

Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3681032
Aktenzeichen
EP18853402
Anmeldetag
24. August 2018
Veröffentlichung
21. Februar 2024
Erteilung
21. Februar 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H02P3/18F04D19/04H02P29/028H02P29/032
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Japan Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

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