Sputtervorrichtung

EP3686314 Art B1 29. September 2021

Anmelder: Bühler AG 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3686314
Aktenzeichen: EP20162666
Anmeldetag: 25. Februar 2014
Veröffentlichung: 29. September 2021
Erteilung: 29. September 2021
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/34C23C14/35H01J37/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Bühler AG
Land: 🇨🇭 Schweiz

🇨🇭 Bühler

Schweizer Familienunternehmen mit Sitz in Uzwil, tätig in Anlagen- und Maschinenbau für Nahrungsmittelverarbeitung, Mühlentechnik sowie Werkstoffe wie Aluminium-Druckguss und optische Materialien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von