Verfahren zum Beschichten einer Hartmaskenzusammensetzung zur Musterübertragung auf ein Siliziumsubstrat
EP3686672
Art B1
25. August 2021
Anmelder: Merck Patent GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3686672
- Aktenzeichen
- EP20155760
- Anmeldetag
- 19. Dezember 2017
- Veröffentlichung
- 25. August 2021
- Erteilung
- 25. August 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/09H01L21/027H01L21/033H01L21/308H01L21/311
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Merck Patent GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Merck KGaA
Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.
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Vertreten von
Féaux de Lacroix, Stefan
Düsseldorf, Deutschland
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