Schätzungsmethode der Lokalen Topographie einer Probe auf der Grundlage von Bildern eines Rasterelektronenmikroskops und einem Mathematischen Modell

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3686676

Aktenzeichen

EP20153724

Anmeldetag

24. Januar 2020

Veröffentlichung

26. März 2025

Erteilung

26. März 2025

Rechtsraum

EP

IPC

G03F7/20G01B15/04G01N23/2251H01J37/28

Abstract

Un aspect de l'invention concerne une méthode (100) d'estimation de la topographie locale d'un échantillon comprenant :- une étape (102) d'acquisition, par un microscope électronique à balayage, d'une pluralité d'images de l'échantillon avec différents angles d'incidence ;- pour chaque image :∘ une étape (103) de calcul d'un profil de niveaux de gris ;∘ une étape (104) de placement d'une pluralité de descripteurs primaires sur le profil de niveaux de gris ;∘ une étape (105) de calcul de descripteurs secondaires à partir des descripteurs primaires ;∘ une étape (106) d'utilisation du modèle mathématique pour calculer des grandeurs topographiques primaires à partir des descripteurs secondaires ;- une étape (107) d'estimation de la topographie locale consistant à utiliser le modèle mathématique pour calculer des grandeurs topographiques secondaires à partir des grandeurs topographiques primaires et des descripteurs secondaires précédemment calculées.

Anmelder

Firma

Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives

Land

🇫🇷 Frankreich

Fachgebiete