Verfahren, Materialien und Prozess zur Entfernung von Nativem Oxid und zum Nachwachsen von Dielektrischen Oxiden für Bessere Biosensorleistung

EP3688205 Art A1 5. August 2020

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3688205
Aktenzeichen: EP18861942
Anmeldetag: 21. September 2018
Veröffentlichung: 5. August 2020
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/40C23C16/455C23C16/56C23C16/01C23C16/02H01L21/02B81C1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von