Verfahren zur Porosierung eines Materials und Halbleiterstruktur

EP3688793 Art A1 5. August 2020

Anmelder: Cambridge Enterprise Ltd. 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3688793
Aktenzeichen
EP17780862
Anmeldetag
27. September 2017
Veröffentlichung
5. August 2020
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3063H01L33/16C25F3/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Cambridge Enterprise Ltd.
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Cambridge Enterprise

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