Mehrstufige Vakuumpumpe und Verfahren zum Differenziellen Pumpen mehrerer Vakuumkammern
EP3701148
Art B1
30. Juni 2021
Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3701148
- Aktenzeichen
- EP19717569
- Anmeldetag
- 4. April 2019
- Veröffentlichung
- 30. Juni 2021
- Erteilung
- 30. Juni 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04B37/14F04C23/00F04C25/02F04C28/26F04C18/12F04C18/16
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Edwards Limited
- Land
- 🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧
Edwards Limited
Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.
524 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Arnold, Emily Anne
Burgess Hill, Großbritannien
87
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7
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