Verwendung von Zusammensetzungen mit einem Siloxanartigen Additiv zur Vermeidung von Musterkollaps bei der Behandlung von Gemusterten Materialien mit Linienraumabmessungen von 50 Nm oder Darunter

EP3704547 Art B1 13. Juli 2022

Anmelder: BASF SE 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3704547
Aktenzeichen: EP18800532
Anmeldetag: 29. Oktober 2018
Veröffentlichung: 13. Juli 2022
Erteilung: 13. Juli 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/40C11D1/66C11D11/00H01L21/02H01L21/027C11D7/50C11D3/37

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: BASF SE
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 BASF

Deutscher Chemiekonzern mit Sitz in Ludwigshafen, gegründet 1865. Entwickelt und produziert Chemikalien, Kunststoffe, Agrarprodukte und Materialien für zahlreiche Industriezweige.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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