Ladungsträgerteilchenmikroskop mit Mehrstrahlenabtastübertragung

EP3706155 Art B1 22. Mai 2024

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3706155
Aktenzeichen
EP20158375
Anmeldetag
20. Februar 2020
Veröffentlichung
22. Mai 2024
Erteilung
22. Mai 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/244H01J37/28H01J37/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI Company
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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