Verfahren zur Herstellung eines Mikroelektromechanischen Systems, das aus einer Abgeschiedenen Piezoelektrischen oder Ferroelektrischen Schicht hergestellt Wird
EP3706180
Art B1
13. Juli 2022
Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives, Université de Franche-Comté, École Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3706180
- Aktenzeichen
- EP20159234
- Anmeldetag
- 25. Februar 2020
- Veröffentlichung
- 13. Juli 2022
- Erteilung
- 13. Juli 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L41/22H01L41/313H03H3/02H03H9/02H03H9/17
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Université de Franche-Comté
École Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)
Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.
5.974 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Esselin, Sophie
Arcueil, Frankreich
880
Patente gesamt
31
Fachgebiete
9
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Atout PI Laplace
Atout PI Laplace · Paris
-
Marks & Clerk France
Marks & Clerk France · Arcueil