Verfahren zur Herstellung eines Mikroelektromechanischen Systems, das aus einer Abgeschiedenen Piezoelektrischen oder Ferroelektrischen Schicht hergestellt Wird
EP3706180
Art B1
13. Juli 2022
Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives, Université de Franche-Comté, École Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3706180
- Aktenzeichen
- EP20159234
- Anmeldetag
- 25. Februar 2020
- Veröffentlichung
- 13. Juli 2022
- Erteilung
- 13. Juli 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L41/22H01L41/313H03H3/02H03H9/02H03H9/17
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Université de Franche-Comté
École Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques - Land
- 🇫🇷 Frankreich
Vertreten von
Esselin, Sophie
Arcueil, Frankreich
880
Patente gesamt
31
Fachgebiete
9
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Atout PI Laplace
Atout PI Laplace · Paris
-
Marks & Clerk France
Marks & Clerk France · Arcueil