Verfahren zur Herstellung eines Mikroelektromechanischen Systems, das aus einer Abgeschiedenen Piezoelektrischen oder Ferroelektrischen Schicht hergestellt Wird

EP3706180 Art B1 13. Juli 2022

Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives, Université de Franche-Comté, École Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3706180
Aktenzeichen
EP20159234
Anmeldetag
25. Februar 2020
Veröffentlichung
13. Juli 2022
Erteilung
13. Juli 2022
Rechtsraum
EP
IPC
H01L41/22H01L41/313H03H3/02H03H9/02H03H9/17
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Université de Franche-Comté
École Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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