Verstopfungserkennung in einem Flüssigkeitsabgabesystem mit mehreren Anschlüssen

EP3710200 Art A1 23. September 2020

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3710200
Aktenzeichen: EP18876326
Anmeldetag: 30. Oktober 2018
Veröffentlichung: 23. September 2020
Rechtsraum: EP
IPC: B24B57/02B24B37/04B24B37/34B24B49/00H01L21/304H01L21/306

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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