Vorrichtung zur Kühlung einer Abscheidungsquelle, Kammer zur Kühlung einer Abscheidungsquelle und Abscheidungssystem

EP3710615 Art A1 23. September 2020

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3710615
Aktenzeichen: EP17798227
Anmeldetag: 16. November 2017
Veröffentlichung: 23. September 2020
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/24C23C14/54

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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