Kühlvorrichtung, Halbleiterherstellungsvorrichtung und Halbleiterherstellungsverfahren

EP3712703 Art B1 26. Juli 2023

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3712703
Aktenzeichen: EP18897285
Anmeldetag: 29. November 2018
Veröffentlichung: 26. Juli 2023
Erteilung: 26. Juli 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01L21/683F25B23/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CANON KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Optik & Fototechnik

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