Plasmaätzverfahren unter Verwendung eines Faraday-Käfigs

EP3712927 Art B1 9. Februar 2022

Anmelder: LG CHEM, LTD. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3712927
Aktenzeichen
EP18895871
Anmeldetag
14. Dezember 2018
Veröffentlichung
9. Februar 2022
Erteilung
9. Februar 2022
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3065H01L21/3213H01J37/32G02B5/18
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
LG CHEM, LTD.
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 LG Chem

Südkoreanisches Chemieunternehmen, das Batteriematerialien, Kunststoffe, petrochemische Produkte und pharmazeutische Wirkstoffe herstellt.

11.924 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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