Sensorelement, Partikelsensorvorrichtung und Verfahren zur Detektion der Dichte eines Partikelförmigen Materials
Anmelder: Infineon Technologies AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3715826
- Aktenzeichen
- EP19165334
- Anmeldetag
- 26. März 2019
- Veröffentlichung
- 6. März 2024
- Erteilung
- 6. März 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N15/06B81C1/00G01N29/12G01N29/02G01N29/036G01N29/24// G01N15/00G01N15/02
Abstract
A Sensor element 100 comprises a membrane structure 110 suspended on a frame structure 115, wherein the membrane structure 110 comprises a membrane element 120 and an actuator 125. The membrane structure 110 is deflectable in a first stable deflection state and in a second stable deflection state and is operable in a resonance mode in at least one of the first and the second stable deflection states. The actuator 125 is configured to deflect the membrane structure 110 in a first actuation state into one of the first and the second stable deflection states, and to operate the membrane structure 110 in a second actuation state in a resonance mode having an associated resonance frequency.
Anmelder
- Firma
- Infineon Technologies AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.
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Fachgebiete
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