Mems-Gassensor
Anmelder: Infineon Technologies AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3715842
- Aktenzeichen
- EP19165331
- Anmeldetag
- 26. März 2019
- Veröffentlichung
- 19. Mai 2021
- Erteilung
- 19. Mai 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N33/00G01N27/12G01N21/17
Abstract
The present disclosure concerns a MEMS gas sensor (10) comprising, inter alia, a photoa-coustic sensor (10) comprising a thermal emitter (16) and an acoustic transducer (17), the thermal emitter (16) and the acoustic transducer (17) being arranged inside a mutual measurement cavity (18). The thermal emitter (16) comprises a semiconductor substrate (11) and a heating structure (12) supported by the semiconductor substrate (11). The heating structure (12) includes a heating element (13). The MEMS gas sensor (10) further comprises a chemical sensor (14) thermally coupled to the heating element (13), and the chemical sensor (14) including a gas adsorbing layer (15).
Anmelder
- Firma
- Infineon Technologies AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.
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Fachgebiete
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