Gasprobenahmedetektionssystem mit mehreren Sensoren für Radikale Gase und Kurzlebige Moleküle und Verfahren zur Verwendung
Anmelder: MKS Instruments 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3717899
- Aktenzeichen
- EP18882863
- Anmeldetag
- 29. November 2018
- Veröffentlichung
- 7. Oktober 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N33/00G01N21/25G01N21/77G01N25/28G01N21/3504G01N21/75// G01N21/35
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- MKS Instruments
- Land
- 🇺🇸 USA
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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Fachgebiete
Forresters IP LLP feierte 2024 sein 140-jähriges Bestehen, gegründet bereits 1884, und zählt zu Großbritanniens traditionsreichsten IP-Kanzleien mit Büros in München, London, Birmingham und Liverpool. Alle Patentanwälte sind European Patent Attorneys, die Financial Times zählte sie mehrfach zu Europas führenden Patentkanzleien.
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Forresters IP LLP
Forresters IP LLP · München