Verfahren zur Herstellung von Wellenleiterkombinatoren mittels Direktätzen

EP3717967 Art A1 7. Oktober 2020

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3717967
Aktenzeichen: EP18883690
Anmeldetag: 13. November 2018
Veröffentlichung: 7. Oktober 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03F7/00G03F1/22G03F1/80H01L21/033H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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