Verfahren zur Formung eines Vertikalen Nanodraht- oder Nanofolien- Feldeffekttransistors
EP3718962
Art B1
9. November 2022
Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3718962
- Aktenzeichen
- EP19166609
- Anmeldetag
- 1. April 2019
- Veröffentlichung
- 9. November 2022
- Erteilung
- 9. November 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B82Y10/00H01L27/092H01L27/06H01L21/8234H01L29/775H01L29/66H01L29/417H01L29/10H01L29/06H01L27/105
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- IMEC vzw
- Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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