Verfahren zur Formung eines Vertikalen Nanodraht- oder Nanofolien- Feldeffekttransistors

EP3718962 Art B1 9. November 2022

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3718962
Aktenzeichen
EP19166609
Anmeldetag
1. April 2019
Veröffentlichung
9. November 2022
Erteilung
9. November 2022
Rechtsraum
EP
IPC
B82Y10/00H01L27/092H01L27/06H01L21/8234H01L29/775H01L29/66H01L29/417H01L29/10H01L29/06H01L27/105
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
IMEC vzw
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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