Verfahren zur Paralleler Formung Vertikaler Nanodraht oder Nanofolien Feldeffekttransistoren und Horizontaler Feldeffekttransistoren

EP3719847 Art A1 7. Oktober 2020

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3719847
Aktenzeichen: EP19166579
Anmeldetag: 1. April 2019
Veröffentlichung: 7. Oktober 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L29/06H01L21/8234H01L27/06H01L29/40H01L29/423H01L29/66H01L29/775H01L29/78B82Y10/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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