Atomkraftmikroskopiesystem, Verfahren zur Abbildung einer oder mehrerer Unteroberflächenstrukturen in einer Halbleitervorrichtung oder zur Überwachung Lithographischer Parameter in einer Halbleitervorrichtung und Verwendung eines Solchen Atomkraftmikroskopiesystems

EP3721240 Art A1 14. Oktober 2020

Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3721240
Aktenzeichen: EP18839758
Anmeldetag: 4. Dezember 2018
Veröffentlichung: 14. Oktober 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G01Q60/32G01N29/06G01N29/24

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Anmelder

Firma: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)

Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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