Strukturierte Verarbeitungskammerkomponenten und Verfahren zur Herstellung davon

EP3721465 Art A1 14. Oktober 2020

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3721465
Aktenzeichen: EP18887190
Anmeldetag: 4. Dezember 2018
Veröffentlichung: 14. Oktober 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32C23C16/44B33Y10/00B33Y80/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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