Verfahren zur Herstellung einer Gate-Maskenschicht

EP3723112 Art B1 20. Dezember 2023

Anmelder: IMEC VZW, IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3723112
Aktenzeichen: EP19168018
Anmeldetag: 9. April 2019
Veröffentlichung: 20. Dezember 2023
Erteilung: 20. Dezember 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/033H01L29/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC VZW
IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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