Synchronisation von Hf-Pulsen mit Rf-Metrologie, Verarbeitung und Steuerung
EP3723458
Art A1
14. Oktober 2020
Anmelder: MKS Inc., MKS Instruments, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3723458
- Aktenzeichen
- EP20166376
- Anmeldetag
- 21. November 2013
- Veröffentlichung
- 14. Oktober 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H05H1/46H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- MKS Inc.
MKS Instruments, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
425 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Jaszek, Ryszard
London, Großbritannien
28
Patente gesamt
9
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
MKS IP Association
MKS IP Association · Berlin