Turbomolekularpumpe sowie Verfahren und Vorrichtung zur Steuerung des Druckes in einer Prozesskammer
EP3724510
Art A1
21. Oktober 2020
Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3724510
- Aktenzeichen
- EP18819358
- Anmeldetag
- 10. Dezember 2018
- Veröffentlichung
- 21. Oktober 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04D19/04F04D25/06F04D27/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Edwards Limited
- Land
- 🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧
Edwards Limited
Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.
524 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Norton, Ian Andrew
Burgess Hill, Großbritannien
310
Patente gesamt
18
Fachgebiete
6
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Schwerpunkte