Kryogenisch Gekühltes, Drehbares Elektrostatisches Spannfutter

EP3724914 Art A1 21. Oktober 2020

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3724914
Aktenzeichen: EP18889540
Anmeldetag: 10. Dezember 2018
Veröffentlichung: 21. Oktober 2020
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/50H01L21/683H01L21/67H01L21/687H01J37/32B23Q3/15H02N13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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