Vorrichtung und Verfahren zur Beleuchtung eines Teilchens sowie System und Verfahren zur Teilchenbildgebung

EP3729052 Art B1 16. März 2022

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3729052
Aktenzeichen
EP18819137
Anmeldetag
19. Dezember 2018
Veröffentlichung
16. März 2022
Erteilung
16. März 2022
Rechtsraum
EP
IPC
G01N15/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Imec VZW
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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