Vorrichtung und Verfahren zur Beleuchtung eines Teilchens sowie System und Verfahren zur Teilchenbildgebung
EP3729052
Art B1
16. März 2022
Anmelder: Imec VZW 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3729052
- Aktenzeichen
- EP18819137
- Anmeldetag
- 19. Dezember 2018
- Veröffentlichung
- 16. März 2022
- Erteilung
- 16. März 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N15/14
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Imec VZW
- Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Vertreten von
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