Verfahren zur Herstellung einer Fluidsensorvorrichtung und Fluidsensorvorrichtung

EP3729068 Art B1 16. November 2022

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3729068
Aktenzeichen: EP18836232
Anmeldetag: 19. Dezember 2018
Veröffentlichung: 16. November 2022
Erteilung: 16. November 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G01N27/414H01L21/762

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Imec VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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