Verfahren zur Herstellung einer Chemischen Führungsstruktur auf einem Substrat und Chemoepitaxieverfahren

EP3729491 Art A1 28. Oktober 2020

Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3729491
Aktenzeichen: EP18827109
Anmeldetag: 21. Dezember 2018
Veröffentlichung: 28. Oktober 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027B81C1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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