Verfahren zur Herstellung eines Siliciumcarbidbeschichteten Körpers

EP3732157 Art A1 4. November 2020

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3732157
Aktenzeichen: EP18837068
Anmeldetag: 22. Dezember 2018
Veröffentlichung: 4. November 2020
Rechtsraum: EP
IPC: C04B41/87C04B35/52C04B41/00C04B41/50C23C16/02C23C16/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von